化学气相沉积气体用来生成沉积薄膜。不同的沉积薄膜需要不同的电子气体。
联系我们>
刻蚀过程需要电子气体与被刻蚀物发生化学反应。刻蚀气体与被刻蚀物发生化学反应,导致被刻蚀物消除。
离子注入气体是在作为参杂气体注入到晶圆表面。
随着市场的发展,公司自主研发半导体其他工艺所需的稀有气体及其他混合气体,解决部分“卡脖子”产品问题。